微系统原理与技术

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傅建中 / 机械工业出版社 / 223页 / 简裝本 / 26.00元 / 2005-3

微系统原理与技术的内容简介

本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点;全面介绍了微系统设计技术、微系统制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术等。

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