MEMS和微系统

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徐泰然 / 王晓浩 / 机械工业出版社 / 402页 / 简裝本 / 38.00元 / 2004-1

MEMS和微系统的内容简介

微系统近年来迅速发展,在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药,以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察,共分11章,介绍了微系统工程的发展,市场,产品,微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。
本书可作为本科生或研究生课程的教材,还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。

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