微机电系统设计与制造

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莫锦秋 / 第1版 (2004年1月1日) / 177页 / 平装 / 30.0 / 2004-3

微机电系统设计与制造的内容简介

微机电系统(MEMS,即Micro Electro Mechanical System)与微电子学、信息学、材料科学和纳米技术等密切相关,具有体积小、精度高、重量轻、性能可靠稳定、能耗低、灵敏度高、工作效率高,以及多功能智能化和适于大批量生产,成本低廉等一系列优点,有巨大的应用前景和经济效益,被公认为21世纪的重点发展高科技前沿学科。
  本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术,全书共分为12章,分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面,包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节;微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理;先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术;多种设计手段和实用软件。
  本书可供希望了解或采用微机电系统的工程技术人员阅读,也可作为机械工程类学生学习专业等选修课时的教学参考书。

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