这本书触及了我心灵里的一处柔软记忆
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在“9.2 体硅微制造”这一小节里面,有这么一段话让我想起了我那青涩的初中时光,摘录如下:
“体硅微制造或微加工通过基底材料的去除(通常是硅晶片),来形成想要的三维立体的微结构。因此这项技术与雕刻家的雕刻成型技术相似,手工的微雕刻已经做得很好,并且在古代中国历史都有很详细的记载。例如,在1737 年,一个微雕刻家在一个比1cm 长一点的橄榄上雕刻了一幅包括一个著名的中国诗人和他的朋友以及两个仆人在一个小船上的栩栩如生的画面。这个小的雕刻品可在台北的帝国艺术博物馆看见,在中国有类似的微雕刻品陈列在其它博物馆里。然而,所有这些雕刻品都是手工的,不是工业产品,而且加工材料仅限于硬木。对硅等硬材料,没有现成的机械加工手段可实现尺寸为0.1μm 到1mm 之间的加工。物理的或化学技术,即通过干法腐蚀或者通过湿法腐蚀,是仅有的可利用的加工硅的方法。可以同样采用这种方法处理的基底包括硅、炭化硅、砷化硅以及在第八章提及的石英。腐蚀加工,不管是不依赖于晶向的各向同性腐蚀,还是依赖于晶向的各向异性腐蚀都是应用于体硅微加工生产的关键技术。”
这段话把我带回到过去的一段岁月里面。那个时候我是一个啥都不知道的初中生,在背诵张潮编选的《虞初新志》里面的魏学洢撰写《核舟记》,不知道Si是做什么用的;不知道我后来会知道Si是面心立方晶格高熔点高沸点的类金属,3s2 3p2;不知道我后来会知道很多化学知识并在此帮助下有大学上;不知道后来我大学会做机械工程光学工程跟化学没啥关系;不知道后来我大学做的课外科研是MEMS又开始琢磨Si SiO2 PMAA Au;不知道后来我在这本书的译者实验室干活并开始看这本书;不知道后来我看到这本书又会回想起那个时候。
嗯,不去想过去了。初中的日子貌似就在昨天,我闭上眼睛每个同学老师的身影仿佛都能从眼前走过。日新月异的时代让我们都走上了不同的道路,只留下一个我在看这本MEMS的参考书,同时为申请留学忐忑不安,不知道未来在美国有什么等着我。
总评:这本书结构体例都不错,说的很全也很浅显,适合入门。缺点是作为教科书,明显错误不少。力荐多少有感情的因素,啊,青春。
“体硅微制造或微加工通过基底材料的去除(通常是硅晶片),来形成想要的三维立体的微结构。因此这项技术与雕刻家的雕刻成型技术相似,手工的微雕刻已经做得很好,并且在古代中国历史都有很详细的记载。例如,在1737 年,一个微雕刻家在一个比1cm 长一点的橄榄上雕刻了一幅包括一个著名的中国诗人和他的朋友以及两个仆人在一个小船上的栩栩如生的画面。这个小的雕刻品可在台北的帝国艺术博物馆看见,在中国有类似的微雕刻品陈列在其它博物馆里。然而,所有这些雕刻品都是手工的,不是工业产品,而且加工材料仅限于硬木。对硅等硬材料,没有现成的机械加工手段可实现尺寸为0.1μm 到1mm 之间的加工。物理的或化学技术,即通过干法腐蚀或者通过湿法腐蚀,是仅有的可利用的加工硅的方法。可以同样采用这种方法处理的基底包括硅、炭化硅、砷化硅以及在第八章提及的石英。腐蚀加工,不管是不依赖于晶向的各向同性腐蚀,还是依赖于晶向的各向异性腐蚀都是应用于体硅微加工生产的关键技术。”
这段话把我带回到过去的一段岁月里面。那个时候我是一个啥都不知道的初中生,在背诵张潮编选的《虞初新志》里面的魏学洢撰写《核舟记》,不知道Si是做什么用的;不知道我后来会知道Si是面心立方晶格高熔点高沸点的类金属,3s2 3p2;不知道我后来会知道很多化学知识并在此帮助下有大学上;不知道后来我大学会做机械工程光学工程跟化学没啥关系;不知道后来我大学做的课外科研是MEMS又开始琢磨Si SiO2 PMAA Au;不知道后来我在这本书的译者实验室干活并开始看这本书;不知道后来我看到这本书又会回想起那个时候。
嗯,不去想过去了。初中的日子貌似就在昨天,我闭上眼睛每个同学老师的身影仿佛都能从眼前走过。日新月异的时代让我们都走上了不同的道路,只留下一个我在看这本MEMS的参考书,同时为申请留学忐忑不安,不知道未来在美国有什么等着我。
总评:这本书结构体例都不错,说的很全也很浅显,适合入门。缺点是作为教科书,明显错误不少。力荐多少有感情的因素,啊,青春。